| Productnaam: | SJ6000 het Meetsysteem van de laserinterferometer | Lineaire metende waaier: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| Oplossing: | 1nm | De nauwkeurigheid van de laserfrequentie: | 0.05ppm |
| Bedrijfstemperatuur:: | (0-40) ℃ | Dynamisch vang tarief:: | 50 KHz |
| Markeren: | 0.05ppm het Meetsysteem van de laserinterferometer,1nm het Meetsysteem van de laserinterferometer,1nm verplaatsing die Interferometer meten |
||
Laserinterferometrie wordt erkend als een zeer nauwkeurige, zeer gevoelige meetmethode die lichtgolflengte als criterium gebruikt, veel gebruikt in high-end productie. Het SJ6000 laserinterferometersysteem bevat een hoogfrequente Helium-Neon lasergenerator van een Amerikaanse leverancier, zeer nauwkeurige omgevingscompensatiemodules, geavanceerde laserinterferentiesignaalverwerking en een krachtig computerbesturingssysteem.
Door gebruik te maken van thermische frequentiestabilisatietechnologie met laser dual-longitudinale modus en geometrische parameters interferentie optisch pad ontwerp, levert de SJ6000 langdurig stabiele, zeer nauwkeurige (0,05ppm) laseruitvoer binnen ongeveer 6 minuten, met krachtige anti-interferentieprestaties. Met verschillende prismamodules meet het lineariteit, hoek, rechtlijnigheid, vlakheid, loodrechtheid en analyseert het dynamische kenmerken.
| Systeemparameters | Omgevingssensoren |
|---|---|
|
Meetmethode: Enkele frequentie Laserfrequentie nauwkeurigheid: 0,05ppm Dynamische opnamesnelheid: 50kHz Opwarmtijd: ~6 minuten Bedrijfstemperatuur: 0-40°C Omgeving: 0-40°C, 0-95% vochtigheid Opslagtemperatuur: -20°C tot 70°C |
Atmosferische temperatuur: ±0,1°C (0-40°C), 0,01°C resolutie Materiaaltemperatuur: ±0,1°C (0-40°C), 0,01°C resolutie Atmosferische vochtigheid: ±5% (0-95%) Atmosferische druk: ±0,1kPa (65-115kPa) |
| Lineaire Meting | Hoekmeting |
|---|---|
|
Meetbereik: 0-80m Meetnauwkeurigheid: 0,5ppm (0-40°C) Resolutie: 1nm Maximale snelheid: 4m/s |
Axiale bereik: 0-15m Meetbereik: ±10° Nauwkeurigheid: ±(0,02%R+0,1+0,24M)″ Resolutie: 0,1″ R = aangegeven waarde (″), M = gemeten lengte (m)
|
| Vlakheidsmeting | |
|---|---|
| Axiale bereik: 0-15m | Meetbereik: ±1,5mm |
| Nauwkeurigheid: ±(0,2%R+0,02M²) µm | Resolutie: 0,1µm |
| Substraatgrootte: 180mm instelbaar, 360mm instelbaar | |
|
R = aangegeven waarde (µm), M = gemeten lengte (m)
|
|
| Rechtlijnigheidsmeting | Korte Rechtlijnigheid | Lange Rechtlijnigheid |
|---|---|---|
| Asbereik | 0,1-4m | 1-20m |
| Meetbereik | ±3,0mm | ±3,0mm |
| Nauwkeurigheid | ±(0,5+0,25%R+0,15M²)µm | ±(5,0+2,5%R+0,015M²)µm |
| Resolutie | 0,01µm | 0,01µm |
|
R = aangegeven waarde (µm), M = gemeten lengte (m)
|
||
| Loodrechtheidsmeting | Korte Rechtlijnigheid | Lange Rechtlijnigheid |
|---|---|---|
| Asbereik | 0,1-3m | 1-15m |
| Meetbereik | ±3,0mm | ±3,0mm |
| Nauwkeurigheid | ±(2,5+0,25%R+0,8M)µm/m | ±(2,5+2,5%R+0,08M)µm/m |
| Resolutie | 0,01µm | 0,01µm |
|
R = aangegeven waarde (µm), M = gemeten lengte (m)
|
||