| Productnaam: | SJ6000 het Meetsysteem van de laserinterferometer | Lineaire metende waaier: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| Oplossing: | 1nm | De nauwkeurigheid van de laserfrequentie: | 0.05ppm |
| Bedrijfstemperatuur:: | (0-40) ℃ | Dynamisch vang tarief:: | 50 KHz |
| Markeren: | De enige Interferometer van de Frequentielaser,0.05ppm Meetinstrumenten,1nm resolutie Meetinstrumenten |
||
Laserinterferometer wordt erkend als een zeer nauwkeurige, zeer gevoelige meetmethode die lichtgolflengte gebruikt als criterium, die veel wordt gebruikt in high-end productie domeinen.Het laserinterferometersysteem SJ6000 bevat een hoogfrequente helium-neonlasergenerator van een leverancier uit de VS., hoge precisie omgevingscompensatiemodules, geavanceerde laserinterferentie-signaalverwerking en een hoogwaardig computersysteem.
Door gebruik te maken van thermische frequentiestabilisatietechnologie van de laser met dubbele longitudinale modus en geometrische parameters voor het ontwerpen van interferentieoptische paden, levert de SJ6000 op lange termijn stabiele, hoge precisie-.Met behulp van verschillende prismmodules kan het de lineariteit, hoek, rechtheid, vlakheid,perpendiculariteit, en analyseren van dynamische kenmerken.
| Parameter | Specificatie |
|---|---|
| Metode van meting | Eenvoudige frequentie |
| Laserfrequentie nauwkeurigheid | 00,05 ppm |
| Dynamische vangstemperatuur | 50 kHz |
| Opwarmtijd | Ongeveer 6 minuten. |
| Werktemperatuur | (0-40) °C |
| Milieuomstandigheden | Temperatuur: (0-40) °C, luchtvochtigheid: 0-95% |
| Bergingstemperatuur | -20°C tot 70°C |
| Type sensor | Specificatie |
|---|---|
| Atmosferische temperatuursensor | ±0,1°C (0-40)°C, resolutie: 0,01°C |
| Temperatuursensor voor materiaal | ±0,1°C (0-40)°C, resolutie: 0,01°C |
| Sensor voor luchtvochtigheid | ± 5% (0-95%) |
| Sensor voor atmosferische druk | ± 0,1 kPa (65-115) kPa |
| Parameter | Specificatie |
|---|---|
| Meetbereik | (0-80) m |
| Metingsnauwkeurigheid | 00,5 ppm (0-40) °C |
| Meting van de resolutie | 1 nm |
| Maximale meetsnelheid | 4 m/s |
| Parameter | Specificatie |
|---|---|
| Axial bereik | (0-15) m |
| Meetbereik | ±10° |
| Precisiteit | ±(0,02%R+0,1+0,24M) ′′ (R geeft waarde aan, eenheid: ′′; M is de gemeten lengte in m) |
| Meting van de resolutie | 0.1′′ |
| Parameter | Specificatie |
|---|---|
| Axial bereik | (0-15) m |
| Plaatheid meetbereik | ±1,5 mm |
| Precisiteit | ±(0,2%R+0,02M2)μm (R geeft waarde in μm aan; M is de gemeten lengte in m) |
| Substraatgrootte | 180 mm verstelbaar, 360 mm verstelbaar |
| Meting van de resolutie | 0.1 μm. |
| Type | Achsbereik | Meetbereik | Precisiteit | Resolutie |
|---|---|---|---|---|
| Korte rechtheid | (0,1-4) m | ± 3,0 mm | ± 0,5+0,25%R+0,15M2) μm | 00,01 μm |
| Lange rechte | (1-20) m | ± 3,0 mm | ± 5,0+2,5%R+0,015M2) μm | 00,01 μm |
| Type | Achsbereik | Meetbereik | Precisiteit | Resolutie |
|---|---|---|---|---|
| Korte rechtheid | (0,1-3) m | ± 3,0 mm | ± 2,5+0,25%R+0,8M) μm/m | 00,01 μm |
| Lange rechte | (1-15) m | ± 3,0 mm | ± 2,5 + 2,5%R + 0,08M) μm/m | 00,01 μm |